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參數(shù)類(lèi)別	具體參數(shù)
材料	BG
尺寸	L77~80 mm
厚度	100~300 μm
厚度公差	±5 μm
TTV	≤0.5 μm
Warp	/
BOW	/
粗糙度（ZYGO）	0.15 nm
角度精度	/
PV (λ)	/
外觀質(zhì)量	Scratch width＜10μm，Length＜0.5mm，Dig diameter＜10μm
生產(chǎn)能力	400K sheet/month（400K 片 / 月）